گاز SF6 (سولفور هگزافلوراید) گازی بدون بو،غیر آتشزا،غیر سمی،غیر ارگانیک،بی اثر می باشد و در صنایع الکترونیک به عنوان عایق دی الکتریک کاربرد فراوان دارد.گاز SF6 در تولید نیمه رساناها نیز کاربرد دارد و یک منبع فلوئور برای چگالی بالا برای قلم زنی پلاسما بدون تولید کربن می باشد.همچنین SF6به عنوان گاز ردیاب برای تعیین نرخ های تهویه و حرکت هوا در ساختمان است.
|
شناسنامه گاز SF6 |
|
SF6:≥99.95 %(m/m) AIR:≤0.003 %(m/m) CF4:≤0.001%(m/m) H2O:2.0ppm(m/m) Acidity(express as HF):0.1ppm(m/m) Hydrolysable Fluoride:≤0.2ppm(m/m) Mineral oil:≤2.0ppm(m/m) Biological noxious : Non-toxic |
گاز SF6 آزمایشگاهی
